晶圓片平整度檢測
行業(yè)痛點(diǎn)與需求
晶圓片的平整度不足會(huì)導(dǎo)致封裝過程的熱應(yīng)力發(fā)生變化，影響芯片的正常使用，因此對(duì)晶圓片表面光潔度的要求都非常高。采用深視智能高精度位移傳感器SG5000系列，支持鏡面反射型安裝，可在晶圓片上多點(diǎn)取值判斷平整度。
優(yōu)勢&特點(diǎn)
01SG系列最高采樣頻率可達(dá)590kHz
02靜態(tài)重復(fù)精度可達(dá)0.02μm
03光亮自動(dòng)調(diào)節(jié)，適用各種檢測環(huán)境
相機(jī)選型
| 型號(hào) | SG5020/SG5025 | ||
| 參考距離（CD） | 20mm | ||
| 測量范圍 | -3mm~3mm | ||
| 光源 | 光源波長 | 655nm | |
| 激光器等級(jí) | 2類 | ||
| 激光器輸出功率 | 5mW | ||
| 光點(diǎn)直徑（光斑尺寸） | 小光點(diǎn) | Φ45μm | |
| 寬光點(diǎn) | 45*400μm | ||
重復(fù)精度① | 0.02μm | ||
| 線性度 | ±0.02%的 F.S. | ||
| 溫度特性 | 0.01%的 F.S./℃ | ||
| 采樣頻率（Hz） | 1/2/5/10/20/50/88/200/400/590kHz(可選10種級(jí)別) | ||
| 輸入輸出 | 通信端口 | 1 個(gè) 100Base-TX/1000Base-T 以太網(wǎng)接口，1 個(gè) RS232 | |
| 模擬量輸出 | 1 路模擬量輸出，支持模擬電壓和模擬電流切換 | ||
| 編碼器輸入 | 1 組差分編碼器 | ||
| IO 輸入 | 14路，支持計(jì)時(shí)、歸零、重置、激光控制、配方切換等功能 | ||
| IO 輸出 | 16路，判定狀態(tài)輸出 | ||
| 儲(chǔ)存溫度 | -20～70℃ | ||
| 工作溫度 | 0～50℃ | ||
| 工作濕度 | 35%~85%無凝露 | ||
| EFT防護(hù) | 電源端口2kV/5或100kHz、信號(hào)端口1kV/5或100kHz，符合IEC 61000-4-4標(biāo)準(zhǔn) | ||
| ESD防護(hù) | 接觸放電4kV、空氣放電8kV，符合IEC 61000-4-2標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 振 動(dòng) | 10Gs (10-500Hz) ，符合 IEC 68-2-6 Fc 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 沖 擊 | 每軸50Gs/3ms，符合IEC 68-2-27 Ea標(biāo)準(zhǔn) | ||
| IP 等 級(jí) | IP67，符合IEC 60529標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 尺寸（mm） | 60*61*41 | ||
| 數(shù)據(jù)線（配線）型號(hào) | SCB-GICAM-HA2-3m/5m/10m | ||
| 重量（包括線纜） | 324g | ||