石英舟、石墨舟到位檢測
行業(yè)痛點與需求
太陽能電池生產(chǎn)時，需要使用擴散爐、氧化爐等設(shè)備對硅片進行擴散，氧化反應(yīng)，處理完畢后，石英舟攜帶硅片從爐中離開，需要檢測確保舟到位后，機械手準確抓取。
使用深視智能激光位移傳感器對石英舟、石墨舟位置距離進行到位檢測，針對石英磨砂透光的材質(zhì)可精準測量，可長期適應(yīng)85℃工況，在熱工藝設(shè)備處依舊穩(wěn)定檢測，位置準確度可達0.5mm，滿足實際生產(chǎn)需求。