半導(dǎo)體分選機篩選過程
行業(yè)痛點與需求
半導(dǎo)體測試過程中需要設(shè)備有分選機、探針臺、測試機以及光學(xué)顯微鏡、缺陷觀測設(shè)備等，對應(yīng)不同測試環(huán)節(jié)。分選機主要應(yīng)用于芯片設(shè)計檢驗階段和成品終測環(huán)節(jié)，是重要檢測設(shè)備之一。
在篩選過程中，一些測試流程由于器件小，動作快，無法通過肉眼或普通相機去快速觀察得出結(jié)論，然而高速相機解決了這一問題。本實驗使用深視智能Mini系列高速相機，小體積相機，結(jié)合帶有倍率鏡頭，可以從容的在狹窄機臺內(nèi)進行拍攝。
視頻展示
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優(yōu)勢&特點
01完全自主知識產(chǎn)權(quán)的20層PCB堆疊設(shè)計和10Gbps Serdes板內(nèi)互聯(lián)技術(shù)
02將機身體積和散熱做到了完美的平衡
03得益于自研陣列式并行存儲架構(gòu)，使得機身內(nèi)最大存儲可擴展到4TB
相機選型
| 規(guī)格 | |||
| 型號 | TYPE | SH3-103 | |
| 最大分辨率 | Full Resolution | 1280×1024 | |
| 滿幅拍攝速度 | Full Frame Rate | 3000FPS | |
| 最大拍攝速度 | Maximum Frame Rate | 219000FPS | |
| 最小曝光時間 | Minimum Exposure Time | 100ns | |
| 像元尺寸 | Pixel Size | 14.6μm | |
| 標準內(nèi)存 | Standard RAM | 16GB/32GB/64GB/128GB | |
| 擴展內(nèi)存 | Extended Memor | 1.2TB/2TB/4TB | |
| 動態(tài)范圍 | Dynamic Range | 60dB | |
| 模擬增益 | Analog Gain | ×2、×4、×8 | |
| 位深 | Bit Resolution | 8bit/10bit/12bit | |
PIV雙曝光 | PIV Dual Exposure | ≥210ns | |
| 色彩 | Color | 單色（M）/彩色（C） | |
| 窗口采集 | ROI | 支持 | |
| 鏡頭卡口 | Lens Mount | E接口,可轉(zhuǎn)接F接口、C接口、EF接口 | |
| 數(shù)據(jù)接口 | Data Interface | 萬兆以太網(wǎng)，自適應(yīng)千兆以太網(wǎng) | |
| 靈敏度 | Sensitivity | ISO56000(M)；ISO21000(C) | |
| 風(fēng)扇控制 | Fan Control | 支持開啟關(guān)閉、根據(jù)溫度自適應(yīng)轉(zhuǎn)速 | |
| 工作溫度/濕度 | Operating Temperature/Humidity | 標準-10~50℃，95%以下（無結(jié)露）,可定制-35~65℃寬溫版 | |
| 視頻信號輸出 | Video Signal Output | 以太網(wǎng) | |
| 錄制模式 | Recording Mode | 開始、結(jié)束、中心、隨機、手動 | |
| 觸發(fā)模式 | Trigger Mode | 手動、IO、圖像 | |
| 外部信號 | External Signal | 輸入：觸發(fā)（TTL/開關(guān)）信號、同步信號、ready信號、event信號、IRIGB 輸出：觸發(fā)、同步信號、ready信號 | |
| 電源 | Power Supply | DC24V | |
| 尺寸（不含鏡頭） | Dimensions (excluding lens) | 90D×110W×110H，不含凸起部分 | |
| 重量 | Weight | 1.6kg | |
| 功率 | Power Consumption | 30W | |
| 標準配件 | Standard Accessories | 電源線×1，AC適配器×1，網(wǎng)線×1、相機控制軟件×1，使用手冊×1，出廠合格證×1 | |